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　　气体质量流量控制器的校准方式涉及多个方面和步骤，需要严格按照操作规程进行，以确保校准结果的准确性和可靠性。以下是对气体质量流量控制器校准方式的详细描述：

　　一、校准前准备

　　1. 环境条件：确保校准环境稳定，温度控制在(20±5)℃，湿度在45%RH~75%RH范围内，且无大气压力突变、振动干扰及磁场干扰。

　　2. 设备检查：确认气体质量流量控制器及其配套设备(如肥皂膜流量计、U型管压力计、秒表、数字万用表、气瓶等)完好无损，量程和精度符合要求，并清洁管道以确保密封性。

　　3. 设备连接：正确连接气瓶、被检控制器、肥皂膜流量计和U型管压力计，确保各连接部位无漏气现象。

　　二、校准步骤

　　1. 外观与初步检查：检查控制器外观是否损坏，按键是否正常，显示屏是否清晰。打开电源，预热15分钟以上，观察显示流量值是否为零，不为零则进行清零操作。

　　2. 管道连接与检漏：根据被检控制器流量范围选择量程合适的标准流量计，连接好气路，确保接口处密封无泄漏。对于高压气体，应增加气密性检验步骤。

　　3. 示值误差校准：通过调节阀或流量计设置多个不同的流量点(如满量程的0%、25%、50%、75%、100%)，记录标准流量计和被检流量计的读数，计算示值误差。重复测量多次，取平均值以提高准确性。

　　4. 响应时间校准：设定一个流量阶跃变化(如从0%到50%或从50%到100%)，同时启动秒表，记录被检控制器响应达到稳定所需时间。响应时间应满足技术规格书要求，否则需调整内部参数或更换部件。

　　5. 重复性校准：选择2-3个不同流量点进行重复性测试，每个流量点重复测量多次(如6次)，记录读数并计算重复性误差。确保重复性满足要求，以证明控制器的一致性和可靠性。

　　6. 控制性能校准：如果具备外部控制功能，还需进行控制性能校准。通过外部模拟信号或通信接口发送控制命令，观察被检控制器执行动作的准确性和及时性。

　　叁、校准记录与结果处理

　　1. 数据记录：详细记录校准过程中的各项数据，包括流量设定值、标准流量计读数、被检流量计读数、时间、温度等环境条件。

　　2. 结果判断：根据校准数据判断被检控制器的示值误差、重复性和响应时间等指标是否符合技术规格书要求。对于不合格项，需进行调整或维修后重新校准。

　　3. 报告编制：整理校准数据，编制校准报告。报告应包含被校仪器信息、校准依据、校准项目、校准数据、不确定度/准确度等级、校准结论等内容。

　　4. 归档保存：将校准报告存档备查，以便后续追溯和质量控制。